ACCRETECH探测机AP3000/AP3000e系列
特征
AP3000/AP3000e 是下*代超高性能探测机，旨在实现高精度、高吞吐量（索引移动、晶圆处理和晶圆对齐）、低振动和低噪音。
Anti-Virus/Anti-Malware 软件作为标准软件安装在机器上。
AP3000/AP3000e 的功能和可操作性继承了以前的型号，并保持了配方和地图数据的兼容性。考虑到安全性，它非常用户友好。
选项
针头清洗（清洗晶圆或清洗单元）
风扇过滤器单元（微型环境）
高频夹具/机械手，测试仪接口
装载机：2 台装载机 / AMHS 自动化
头台倾斜（探针卡倾斜）
Chuck：环境/热温度。/ 低温。/低噪声
APC：自动探针卡交换
磁带 ID 读取
晶圆 ID 读取（顶面/背面）
GB-IB接口
探测网络（Veganet、Light-Veganet、Vega-Planet、GEM）
PCAS（探针卡自动设置）
探针卡PGV
