ACCRETECH抛光机

ACCRETECH抛光机PG3000RMX系列

特征

RM200/300 提供单单元解决方案，为 PG200/300 处理提供补充功能，可去除较薄晶圆上的保护胶带并将晶圆应用于切割框架。

在*台机器上对晶圆进行两面的粗磨、精磨、抛光和清洗工艺。

无需在同*个卡盘台上移动晶圆即可完成所有工序。

**上*小的足迹。

环保 - 无需化学品即可减少地下破坏。

系统配置